王東新代表：大力推進(jìn)半導(dǎo)體鉭靶材國產(chǎn)化進(jìn)程
2019年03月15日 9:8 8396次瀏覽 來源： 中國有色金屬報 分類： 重點(diǎn)新聞 作者： 于璐 劉京青
“芯片或集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標(biāo)志，近年來，中國芯片產(chǎn)業(yè)每年進(jìn)口額遠(yuǎn)超石油，高達(dá)2000億美元以上，高度依賴進(jìn)口。”全國人大代表、中色(寧夏)東方集團(tuán)有限公司西材院黨委委員、鈹材研究所黨支部書記、所長王東新在接受記者采訪時談到我國芯片進(jìn)口問題滔滔不絕。
“物理氣相沉積（PVD）是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的工藝之一，濺射靶材作為半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵耗材目前也主要依賴進(jìn)口，希望國家能大力推進(jìn)半導(dǎo)體鉭靶材國產(chǎn)化。”王東新對記者說。
隨著我國的快速發(fā)展，國內(nèi)半導(dǎo)體芯片技術(shù)也在快速發(fā)展，芯片制造廠商如英特爾、臺積電、中芯國際、意法半導(dǎo)體等國際大廠陸續(xù)在國內(nèi)建立工廠，但制備芯片的關(guān)鍵半導(dǎo)體用Al、Ti、Cu、Ta、W等金屬靶材仍然主要依賴進(jìn)口。“特別是12英寸鉭靶材幾乎全部依賴進(jìn)口，這使我國的芯片自給安全存在重大隱患。”王東新表示。
王東新所在的中色(寧夏)東方集團(tuán)有限公司幾十年來一直堅持創(chuàng)新驅(qū)動，在鉭、鈮、鈹及其合金和特種金屬靶材等技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了雄厚的科研實力，是世界鉭三強(qiáng)之一，擁有完整的鉭冶煉加工生產(chǎn)線，不僅可生產(chǎn)高品級鉭粉和制備超高純鉭錠，還可穩(wěn)定供應(yīng)8寸鉭靶坯及擁有12寸鉭靶坯的制造技術(shù)。“雖然我們在金屬靶材研發(fā)上實現(xiàn)了許多成果，但一直都是單槍匹馬。”王東新表示。
“雖然我們在金屬靶材研發(fā)上實現(xiàn)了許多成果，但一直都是單槍匹馬。”王東新表示，目前我國半導(dǎo)體靶材領(lǐng)域缺少頂層設(shè)計，還沒有一個國家或全行業(yè)層面的聯(lián)盟或協(xié)會來聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)，實現(xiàn)包含鉭靶坯制造商、鉭靶材制造商、芯片制造商的上下游聯(lián)合體；同時，國外同行形成的技術(shù)及產(chǎn)業(yè)鏈壁壘，給鉭靶材國產(chǎn)化造成了極大的技術(shù)障礙，而國產(chǎn)化半導(dǎo)體靶材仍處于入門階段，還不具備市場競爭力。
對于以上問題，王東新表示，希望國家大力推進(jìn)半導(dǎo)體靶材國產(chǎn)化，解決核心技術(shù)受制于人的局面。他建議，一是實施頂層設(shè)計，在國家或全行業(yè)、產(chǎn)業(yè)鏈層面建立半導(dǎo)體靶材國產(chǎn)化上下游聯(lián)合體；二是形成半導(dǎo)體靶材產(chǎn)業(yè)鏈各關(guān)鍵端的反饋機(jī)制，形成技術(shù)合力，攻克技術(shù)壁壘；三是對包括鉭靶材在內(nèi)的半導(dǎo)體靶材推進(jìn)國產(chǎn)化的階段，國家能給予政策資金支持，幫助企業(yè)克服成本劣勢，進(jìn)入市場，做大做強(qiáng)，助力關(guān)鍵材料國產(chǎn)化進(jìn)程。
責(zé)任編輯：郭沛宇
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